осаждение
131химическое осаждение из паровой фазы — cheminis garinis nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. chemical vapor deposition vok. chemische Abscheidung aus der Gasphase, f rus. химическое осаждение из паровой фазы, n pranc. déposition chimique en phase vapeur,… …
132химическое осаждение металлоорганического соединения из паровой фазы — cheminis garinis metaloorganinio junginio nusodinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. metallo organic chemical vapor deposition vok. chemische metallorganische Abscheidung aus der Gasphase, f rus. химическое осаждение… …
